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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:TOPCON拓普康 半導(dǎo)體表面検査裝置 WM-10 重慶內(nèi)藤銷售

  • 產(chǎn)品型號(hào):WM-10
  • 產(chǎn)品廠商:TOPCON拓普康
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
TOPCON拓普康 半導(dǎo)體表面検査裝置 WM-10 重慶內(nèi)藤銷售 TOPCON拓普康 半導(dǎo)體表面検査裝置 WM-10 重慶內(nèi)藤銷售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
詳情介紹:


產(chǎn)品概述

晶片表面檢查裝置WM-10對(duì)應(yīng)6-8英寸或8到12英寸的晶片,它可以是裸露的(裸)粒子測(cè)定與48納米的硅晶片的高靈敏度。裝備有世界上第紫(藍(lán)紫色半導(dǎo)體)激光器作為光源,一個(gè)擁有*佳的性能和在65?90nm工藝節(jié)點(diǎn)壓倒性性能價(jià)格比**模型。
產(chǎn)品功能
65?90 nm工藝節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)48 nm的*大檢測(cè)靈敏度,適用于批量生產(chǎn)和原型設(shè)計(jì)
世界上**個(gè)大功率Violet-LD采用實(shí)現(xiàn)了運(yùn)行成本的顯著降低
業(yè)界*快的吞吐量
業(yè)界*小的小尺寸(12英寸兼容機(jī))
通過安裝2軸光學(xué)系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)微小劃痕(微小缺陷)的缺陷分離
準(zhǔn)備了各種選項(xiàng),如自動(dòng)靈敏度校正功能,COP分離,F(xiàn)OUP等


主要規(guī)格

  ? 光源  紫羅蘭色LD(藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光)
  ? 檢測(cè)/掃描方法  散射光檢測(cè)/螺旋掃描方法
  ? *大檢測(cè)靈敏度  48納米*裸晶片
  ? 重現(xiàn)性  σ/X≤1%×99%以上
  ?進(jìn)行檢查  裸晶片,帶電影的晶圓
 相應(yīng)的晶圓尺寸  12/8英寸,或8/6英寸
 設(shè)備尺寸W×D×H  1,482×1,173×1,950毫米
 重量  900公斤

 

主要選項(xiàng)

 ■自動(dòng)靈敏度校正功能
 ■霧度測(cè)量功能
 ■地圖疊加功能
 ■雙晶片端口
 ■4英寸晶圓轉(zhuǎn)移
 ■XY坐標(biāo)輸出軟件(通訊)
 ■**通訊軟件



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