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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本ULVAC愛發(fā)科離子注入機重慶販賣

  • 產(chǎn)品型號:SOPHI-400
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
高能離子注入機,*高可支持Max2400KeV。
詳情介紹:
離子注入機

高能兼容離子注入機SOPHI-400

高能離子注入機,*高可支持Max2400KeV。

特征

  • 單葉型
  • 兼容薄晶圓
  • 平行光束

采用

  • 功率器件薄板工藝、IGBT工藝

規(guī)格

  • 板尺寸:Max200mm
  • *大電壓:2400 keV
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