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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：OTSUKA大塚電子內(nèi)置膜厚監(jiān)控器內(nèi)藤naitokikai

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
與波長(zhǎng)相關(guān)的高精度多層膜測(cè)量！ 銷售中心-重慶內(nèi)藤naitokikai
詳情介紹：

產(chǎn)品信息

特征
  • 使用光譜干涉法的薄膜厚度測(cè)量?jī)x
  • 搭載高精度FFT膜厚解析引擎（磚利第4834847號(hào)）
  • 可由光纖構(gòu)建靈活的測(cè)量系統(tǒng)
  • 可集成到各種制造設(shè)備中
  • 薄膜厚度可實(shí)時(shí)測(cè)量
  • 支持遠(yuǎn)程操作和多點(diǎn)測(cè)量
  • 使用長(zhǎng)壽命、高穩(wěn)定性的白色 LED 光源

 

測(cè)量項(xiàng)目
  • 薄膜厚度

 

應(yīng)用
  • 光學(xué)膜（硬涂層、AR膜、ITO等）
  • FPD相關(guān)（resist、SOI、SiO2等）

設(shè)備配置

單點(diǎn)型

設(shè)備配置單點(diǎn)

  • 半導(dǎo)體晶圓面內(nèi)分布測(cè)量
  • 玻璃基板面內(nèi)分布測(cè)量

 

多點(diǎn)式

設(shè)備配置 多點(diǎn)

  • 實(shí)時(shí)測(cè)量
  • 流向質(zhì)量控制
  • 與真空室兼容

 

橫移式

設(shè)備配置 遍歷

  • 實(shí)時(shí)測(cè)量
  • 寬度方向質(zhì)量控制
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