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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ORC歐阿希 半導(dǎo)體用曝光裝置 PPS-8200 重慶內(nèi)藤銷售

  • 產(chǎn)品型號(hào):PPS-8200
  • 產(chǎn)品廠商:ORC歐阿希
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
ORC歐阿希 半導(dǎo)體用曝光裝置 PPS-8200 重慶內(nèi)藤銷售 ORC歐阿希 半導(dǎo)體用曝光裝置 PPS-8200 重慶內(nèi)藤銷售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
詳情介紹:

高性能步進(jìn)器,負(fù)責(zé)*先進(jìn)封裝技術(shù)的光刻工藝

■ 2.5D,3Dパッケージ ■ CIS/LED
■ TSV ■ IGBT
■ インターポーザ ■ MEMS
■ WL-CSP/FO-WLP ■ Bumping



■ 可変レンズNA機(jī)構(gòu)と等倍Dyson光學(xué)系
■ 52x33mmの大面積露光フィールド
■ *大8フィールドの効率的なレチクルデザイン
■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光學(xué)系をプロテクト
■ 薄ウェハ?TAIKOウェハ?反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系


■ 露光波長 ghi線,gh線,i線
■ 解像度 2μm L/S (2μmt)
■ 焦點(diǎn)深度 ≧10μm
■ 初期照度 ≧2700mW/cm2
■ 照度分布 ≦ 3% (ghi線)
■ 露光フィールド 52 x 33 mm
■ オーバーレイ精度 ≦ 0.5μm (|AVE|+3σ)
■ 適応ウェハ 6,8,12inch
■ 裝置寸法?重量 3460(D) X 2260(W) X
2500(H) / 5500Kg


■ ウェハ裏面マークでのアライメント機(jī)能
■ ウェハ周辺露光/非露光機(jī)能


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