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產(chǎn)品概述
TME-150R主要是在構(gòu)成平板顯示器(FPD),手動曝光裝置,專門*佳的性能和功能的部件的開發(fā)研究。
特別是影響液晶顯示器的圖像質(zhì)量,光刻膠材料的評價擁有在各大廠商的大量成果,已經(jīng)建立了業(yè)內(nèi)*實際的狀況標(biāo)準(zhǔn)超過20年。
該裝置中,而節(jié)省空間的,低成本的,**曝光裝置類似的光學(xué)性能的驕傲,支持產(chǎn)品的開發(fā)狀態(tài)的*先進的客戶。
特點
高分辨率的性能
憑借高性能的光學(xué)系統(tǒng)和高度**的機械控制,我們實現(xiàn)了L / S 7μm的高分辨率(50μm間隙設(shè)置)。
豐富的選擇
可選擇多年的專業(yè)知識來評估各種FPD成員。
有可能建立一個*適合您的研發(fā)應(yīng)用的系統(tǒng)。
節(jié)省占地面積
基于多年積累的光學(xué)技術(shù),通過采用高精度,小型化的光學(xué)系統(tǒng),實現(xiàn)了節(jié)省占地面積。
主要交付記錄
半導(dǎo)體,LCD彩色抗蝕劑制造商
LCD面板制造商
LCD濾色器制造商
觸摸面板制造商
有機EL面板的制造商
LED芯片廠商
半導(dǎo)體功率器件,制造商
主要規(guī)格
相應(yīng)的工作量
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Φ50至Φ200 mm或者□40至150 mm
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工作厚度
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0.5至1.1毫米
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工作表格
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硅片或玻璃*玻璃是液晶等級
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面膜大小
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工作尺寸+ 50毫米,厚度2.3 + 0.1毫米
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曝光范圍
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Φ150毫米
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曝光照度
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38 mW / cm 2(i線λ= 365 nm),我們規(guī)格的1 kW超高壓汞燈
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照度不均勻
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±5.0%以下
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決議
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L / S:7μm *接近間隙設(shè)定為50μm時
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間隙設(shè)置范圍
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50至999微米
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設(shè)備尺寸W×D×H
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1,800×1,200×1,900毫米
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設(shè)備重量
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大約600公斤
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主要選項
■帶通濾波器:i線/ h的線/ g線,其他303Nm,313nm處,334Nm
■ND濾波器:50?80 Pasento
■偏振可變機構(gòu)
■寬燈對應(yīng):2KW / 3.5KW / 5.0KW
■軟接觸曝光功能
■多重曝光功能