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產品詳情
  • 產品名稱:OTSUKA大塚電子顯微分光膜厚儀OPTM系列naitokikai

  • 產品型號:
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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簡單介紹:
OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區(qū)域的**反射率來實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的設備。 各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量??梢赃M行1秒/點的高速測量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數。 銷售中心-重慶內藤naitokikai
詳情介紹:
特征
  • 膜厚測量所需的功能集成在測量頭中
  • 使用顯微光譜法進行高精度**反射率測量(多層膜厚度、光學常數)
  • 每點1秒以內的高速測量
  • 實現顯微鏡下寬測量波長范圍(紫外到近紅外)的光學系統(tǒng)
  • 區(qū)域傳感器**機制
  • 一個簡單的分析向導,即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分析
  • 配備可自定義測量順序的宏功能
  • 也可以分析復雜的光學常數(多點分析法)
  • 300mm載物臺兼容
  • 支持各種自定義

可以根據樣品的形狀和位置輕松定制測量順序。

可以根據樣品的形狀和位置輕松定制測量順序。

規(guī)格

規(guī)格
類型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230-800 納米 360-1100nm 900-1600nm
膜厚范圍*1 1 納米至 35 微米 7 納米至 49 微米 16nm 至 92μm
樣本量*2 *大200×200×17mm
光斑直徑 φ5、φ10、φ20、φ40

*以上規(guī)格適用于自動XY載物臺。

*1 薄膜厚度范圍換算為SiO2 。

*2 如需 300 mm 載物臺,請聯系我們。


 

類型 自動XY載物臺類型 固定架式 埋頭式
外形尺寸
(寬×深×高)
556×566×618mm 368×468×491mm 210×441×474mm
90×250×190mm *
重量 66公斤 38公斤 23 公斤
4 公斤*
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*交流/直流電源單元

 

圖表

OPTM(自動XY載物臺型)結構圖
自動XY載物臺類型

 

OPTM(埋頭式)結構圖
埋頭式

測量項目

測量項目
  • **反射率測量
  • 膜厚分析
  • 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

反射率

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