主營產品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業(yè)安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產品詳情
簡單介紹:
OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區(qū)域的**反射率來實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的設備。
各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量??梢赃M行1秒/點的高速測量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數。
銷售中心-重慶內藤naitokikai
詳情介紹:
特征
- 膜厚測量所需的功能集成在測量頭中
- 使用顯微光譜法進行高精度**反射率測量(多層膜厚度、光學常數)
- 每點1秒以內的高速測量
- 實現顯微鏡下寬測量波長范圍(紫外到近紅外)的光學系統(tǒng)
- 區(qū)域傳感器**機制
- 一個簡單的分析向導,即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分析
- 配備可自定義測量順序的宏功能
- 也可以分析復雜的光學常數(多點分析法)
- 300mm載物臺兼容
- 支持各種自定義
可以根據樣品的形狀和位置輕松定制測量順序。
規(guī)格
規(guī)格
類型 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
波長范圍 | 230-800 納米 | 360-1100nm | 900-1600nm |
膜厚范圍*1 | 1 納米至 35 微米 | 7 納米至 49 微米 | 16nm 至 92μm |
樣本量*2 | *大200×200×17mm | ||
光斑直徑 | φ5、φ10、φ20、φ40 |
*以上規(guī)格適用于自動XY載物臺。
*1 薄膜厚度范圍換算為SiO2 。
*2 如需 300 mm 載物臺,請聯系我們。
類型 | 自動XY載物臺類型 | 固定架式 | 埋頭式 |
外形尺寸 (寬×深×高) |
556×566×618mm | 368×468×491mm |
210×441×474mm 90×250×190mm * |
重量 | 66公斤 | 38公斤 |
23 公斤 4 公斤* |
*大功耗 | AC100V±10V 500VA | AC100V±10V 400VA |
*交流/直流電源單元
圖表
自動XY載物臺類型
埋頭式
測量項目
測量項目
- **反射率測量
- 膜厚分析
- 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)