主營產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設(shè)備、氣動工具、電動工具、化工設(shè)備、化工輔料、點膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設(shè)備等。
- 西南區(qū)廠家直銷 FUNATEC...
- 廠家直銷 MUSASHI武藏 ...
- AITEC艾泰克 Power-...
- 重慶上乘粘度計 TOKISA...
- 西南區(qū)廠家直銷EIWA熔接機拉...
- 功能齊全 重慶內(nèi)藤銷售 KOB...
- 原裝進口 靜電測量儀 FMX-...
- 折疊耐久試驗機 DLDMLH...
- SEN日森 UV硬化裝置 臺式...
- HID光源 HL - LGJ ...
- USHIO牛尾 照明設(shè)備 一般...
- 新品直銷，OPK株式會社，托盤...
- 現(xiàn)貨直銷 SANEI三榮 BS...
- 現(xiàn)貨直銷 SANEI三榮 SD...
- 西南地區(qū)直銷 MOUNTZ蒙士...
- DLDMLH-4U 折疊耐久...
- 折疊耐久試驗機 DLDMLH-...
- 現(xiàn)貨 DIT東日技研 超聲波傳...
- 現(xiàn)貨 DIT東日技研 靜電消除...
- 現(xiàn)貨 DIT東日技研 噴嘴式/...
- 重慶內(nèi)藤供應(yīng)AITEC艾泰克L...
- AITEC艾泰克 氮置換BOX...
- AITEC艾泰克 晶圓UV照射...
- AITEC艾泰克 閃光燈設(shè)定數(shù)...
- AITEC艾泰克 LPDCH系...
- AITEC艾泰克 LMS 10...
- AITEC艾泰克 紅外線照明 ...
- NDK日本電色 濁度/色度儀...
- 日本SIGMAKOKI西格瑪光...
- 日本FLUORO福樂西南代理小...
- 日本CCS希希愛視鹵素光源重慶...
- 日本FLUORO福樂小型真空泵...
- 原裝**圓度·圓柱度形狀測量機...
- 日本probe 探頭耐500℃...
- 日本MALCOM馬康代理手持式...
- 日本MUSASHI株式會社武藏...
- 日本ACCRETECH東京精密...
- 日本MUSASHI武藏數(shù)碼控制...
- 日本SSD西西蒂靜電離子風(fēng)機西...
- 內(nèi)藤供應(yīng)日本AND艾安德微型 ...
- 重慶內(nèi)藤TND－4500K日本...
- 國內(nèi)代理日本MALCOM馬康錫...
- 日本FLUORO福樂新品 伯努...
- 優(yōu)勢產(chǎn)品ACCRETECH圓度...
- MUSASHI武藏數(shù)碼控制點膠...
- 日本ACCRETECH圓度·圓...
- 日本ACCRETECH東京精密...
- 日本ACCRETECH東京精密...
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
在晶圓的研磨、拋光等過程中，可以超高速、高精度、非接觸地測量晶圓和樹脂的厚度。
銷售中心-重慶內(nèi)藤naitokikai
詳情介紹：
特征
- 通過光學(xué)方法可以進行非接觸式和非破壞性的厚度測量。
- 實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性
- 可實時高速監(jiān)控拋光
- 實現(xiàn)了長 WD（工作距離）并且易于集成到設(shè)備中
- 從主機設(shè)備使用 LAN 通過 TCP/IP 通信進行控制
- 可以進行多層厚度測量
- 可測量臨時晶圓（臨時鍵合晶圓）各層厚度
-
測量項目
- 厚度測量（5層）
用法
- 各種晶圓（硅、其他化合物晶圓）的厚度測量
- 融入各種工藝，如研磨、拋光、粘合等。
- 晶圓以外的厚膜部件厚度測量
集成到半導(dǎo)體工藝中的示例
■ 臨時粘合
■ 背景研磨
■ 濕蝕刻
■ CMP工藝
規(guī)格
*1 : 測量初始標(biāo)準樣品 AirGap 約 1000 μm 時的相對標(biāo)準偏差 (n = 20)
*2 : WD80 mm 探頭規(guī)格的設(shè)計值
設(shè)備配置
映射
■ 300 毫米晶圓測繪系統(tǒng)
- 通過對準精細圖案提供晶圓厚度和各種厚度信息
- 配備高精度XY定位平臺（±2μm以下），實現(xiàn)高精度定位
- 可以處理晶圓以外的形狀
- 可以檢查測量點周圍的視野
- 對應(yīng)半導(dǎo)體用300mm晶圓
- 與 MEMS 和傳感器設(shè)備兼容
